Микрооптоэлектромеханический датчик угловой скорости с кольцевым резонатором. Ро Датчик угловой скорости схема

МЭМС и НЭМС: датчики ускорения и поворота, наноприводы, оптические и электронные

Все фото на тему: Датчик угловой скорости схема